Najbardziej zaawansowane laboratoria clean room

Strefa clean-room w Kampusie Pracze to jeden z najnowocześniejszych w Polsce obszarów laboratoryjnych dedykowanych do mikro- i optoelektroniki. Będą tam prowadzone badania z użyciem najnowocześniejszego klastra epitaksji MBE (osadzanie warstw za pomocą wiązek molekularnych) oraz reaktora MOCVD (osadzanie związków metaloorganicznych z fazy gazowej). Uzupełnienie stanowić będzie linia technologiczna, w skład której wchodzą między innymi: fotolitografia oraz nanoimprint, czyszczenie i wytrawianie podłoży na mokro oraz na sucho poprzez wytrawianie jonami wspomaganymi plazmą (ICP-RIE), osadzanie warstw metalicznych poprzez naparowanie (PVD) oraz z użyciem plazmy (ICPECVD), charakteryzacja wytwarzanych struktur i tzw. back-end.

Te obszary będą stanowić jedne z głównych tematów badawczo-rozwojowych w EIT+. W tej chwili przygotowujemy do pracy najnowocześniejsze w Polsce laboratoria typu clean room. To rodzaj pomieszczeń o kontrolowanych parametrach środowiskowych, w szczególności zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, itp. Dzięki nim będziemy mogli prowadzić specjalistyczne badania naukowe nad materiałami wymagającymi wysokiej czystości. – mówi prof. Detlef Hommel z Wrocławskiego Centrum Badań EIT+.

Pomieszczenie czyste (z ang. clean-room), w których prowadzi się stałą kontrolę zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, ale także rodzaj światła, kierunek przepływu powietrza, temperatura, ciśnienie, używane są do badań naukowych z materiałami wrażliwymi na zanieczyszczenia i wpływ warunków zewnętrznych. Można je wykorzystywać przede wszystkim przy produkcji materiałów o wysokiej czystości np. procesorów, tranzystorów oraz mikroczipów. W EIT+ strefę typu clean-room będą tworzyć Laboratorium Epitaksji oraz Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych, a użytkownicy będą mieli do dyspozycji pomieszczenia w klasach czystości od ISO5 do ISO7 o łącznej powierzchni ok. 580 m2. Strefa clean-room została utworzona w ramach projektu „DCMiB - Dolnośląskie Centrum Materiałów i Biomateriałów Wrocławskie Centrum Badań EIT+” w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna Gospodarka. Jej koszt wyniósł 35 mln zł.